Како CVD премази смањују контаминацију у процесима нагризања полупроводника

У производњи полупроводника, чак и најмања контаминација може изазвати велике проблеме. Ово је посебно тачно током фазе нагризања. У овој фази, ситне честице или лоше реакције могу оштетити уређај. Такође могу смањити број добрих производа који се добијају. Један од начина да се смање ови проблеми је коришћењеCVD (хемијско таложење паром) премазиОви премази штите делове у комори за нагризање. Они помажу у одржавању чистоће, спречавају хабање и смањују дефекте.

Проблем контаминације у коморама за плазма нагризање

Плазма нагризање је кључни корак у производњи чипова, али долази са великим изазовом: контаминацијом. Нагризање користи гасове и плазму за прецизно уклањање материјала. Али ови тешки услови такође могу оштетити делове коморе. Како се делови троше, ситне честице или љуспице могу се одлепити и слетети на површину плочице. Када се то деси, формирају се дефекти – и њих је често немогуће касније поправити.

Уобичајени узрок контаминације су зидови коморе или делови који директно додирују плазму. Временом, плазма реагује са овим површинама, полако их нагризајући. То може проузроковати да честице падну у комору или створе нежељене хемикалије. Чак и делови који изгледају глатко могу бити храпави под микроскопом, што омогућава да се честице лепе или накупљају.

Још један проблем је унакрсна контаминација између процесних циклуса. На пример, остаци са једне плочице могу доспети на следећу ако комора није правилно очишћена или покривена. Ово постаје већи проблем како се карактеристике чипа смањују. Оно што је некада био ситан дефект сада може блокирати или скратити критични пут у напредним чворовима.

Многе фабрике покушавају да реше овај проблем честим чишћењем коморе или заменом делова. Али то захтева време и новац. Такође не решава главни проблем - оштећења од плазме. Зато користе заштитне премазе. Ови премази помажу у заустављању оштећења пре него што почну тако што покривају делове који су највише погођени.

CVD премази као заштитна баријера: SiC и TaC у акцији

Да би зауставили контаминацију пре него што почне, многи произвођачи чипова се окрећуCVD премазиТанки слојеви се додају деловима коморе како би их заштитили од оштећења и хемикалија. Два најпоузданија материјала за овај посао сусилицијум карбид (СиЦ) тантал карбид (ТаЦ)Они нису само издржљиви — они су такође стабилни у агресивним плазма окружењима.

SiC се користи јер добро подноси топлоту и отпоран је на реакције са гасовима. CVD-ом пресвучен SiC на деловима ствара чврсту површину која се не хаба лако. Чак и након многих циклуса нагризања, остаје глатка и чиста, тако да мање честица пада на плочице.

TaC се користи када је процес нагризања још агресивнији. Добро функционише са јаким плазмама и тешким халогеним гасовима. Његова густа структура и висока тачка топљења чине га посебно отпорним на корозију. У неким напредним алатима,TaC премазипомажу у смањењу контаминације метала. Ово је важно за израду брзих логичких и меморијских чипова.

Ови премази функционишу тако што стварају баријеру између плазме и дела. Ово помаже да део дуже траје и одржава комору стабилном. Такође омогућава инжењерима да раде дуже без заустављања ради чишћења или замене делова.

Замислите то као стављање заштитне фолије на екран телефона. То не мења начин на који телефон функционише, али трпи ударац како ваш екран не би морао. Слика:

Побољшане перформансе нагризања и смањени трошкови одржавања

CVD премазипопут SiC и TaC чувају делове безбедним, помажу да нагризање иде глатко и значе да је потребно мање фиксирања. Када делови коморе остану у добром стању, нагризање постаје доследније. То значи да више плочица пролази провере квалитета, а мање се баца због дефеката.

Стабилни услови у комори су кључни за поновљиве резултате. Без премаза, делови коморе се полако троше. То може променити проток гаса, ширење топлоте и понашање плазме. Ове промене могу бити мале у почетку, али временом могу довести до различитих резултата. Премазани делови помажу да се то избегне тако што комору одржавају предвидљивијом од једне плочице до друге.

Поред тога, делови са CVD премазом трају много дуже пре него што их је потребно заменити. Алатима без премаза је потребно више заустављања ради чишћења, што узрокује кашњења. Делови са премазом трају дуже, смањујући време застоја и додатни рад.

Фабрике у стварном свету су виделе ову исплату. На пример, један произвођач чипова је користио прстенове обложене SiC-ом уместо обичног алуминијума и добио 40% дуже време рада. Ово је смањило време застоја и одржало стабилнији принос плочица.

То је јасан случај „потрошите мало више унапред, уштедите много током времена“. CVD премази одржавају делове безбедним и чистим, тако да инжењери могу да се фокусирају на посао, а не на поправљање ствари.

Истражите Semixlab-ове могућности премазивања за ваш систем за нагризање

Ако желите да извучете максимум из свог система за нагризање, корисно је да сарађујете са неким ко познаје материјале и процес. Semixlab производи CVD премазе попут SiC и TaC, направљене за алате за нагризање и тестиране у стварним фабрикама.

Оно што Семикслаб издваја је њихова услуга по мери. Могу да премажу многе облике и делове, попут алуминијумских прстенова или графитних носача. Премази су глатки, чврсти и направљени тако да одговарају вашим потребама. Сви радови на премазивању се обављају у чистим, контролисаним просторијама, тако да не улазе нова прљавштина или честице.

Многе фабрике шаљу коришћене делове на поновно премазивање уместо да их директно замене. Овај приступ не само да штеди новац већ и помаже у смањењу отпада. Semixlab проверава сваки део како би се уверили да је и даље чврст. Ако прође испит, очисте га, премажу и шаљу назад - спреман за поновну употребу. Ово помаже да делови дуже трају без губитка перформанси.

Инжењери који раде са Semixlab-ом добијају више од самог премаза. Нисте сигурни који материјал одговара вашим гасовима? Желите да знате колико дуго траје са вашом плазмом? Њихов тим може да га тестира или провери податке како би вам помогао да изаберете.

Ако желите да испробате делове са премазом, проверите колико времена и плочица сада губите. Премази би вам могли помоћи да уштедите и једно и друго.