Кварцни делови

Кварц је и даље свуда присутан у обради полупроводника. Није нов, али је поуздан и већина фабрика је упозната са његовим понашањем. Све док се чистоћа контролише, добро функционише у фазама дифузије, оксидације и чишћења.

Много кварцних делова се користи у системима пећи или PECVD алатима. Главно очекивање је стабилност — не нужно дуг век трајања, већ предвидљиве перформансе. То је обично довољно добро за многе стандардне процесе.

Наравно, кварц има своја ограничења. Може се брже истрошити у одређеним условима, посебно у поређењу са SiC-ом. Али пошто га је релативно лако набавити и није превише скуп, људи га и даље доста користе.