Чамац од кварцних плочица високе чистоће

Кварцни чамац високе чистоће направљен је од синтетичког кварцног песка поступком лучног топљења, који има веома низак коефицијент термичког ширења и одличну отпорност на термичке ударе како би се осигурало да не постоји ризик од деформације или пуцања у процесу брзог подизања и спуштања. Површина је прецизно полирана како би се смањило загађење честицама, погодно за сурово и чисто окружење у производњи полупроводника. Производ подржава прилагођене величине (дужина 100-500 мм, број слотова 2-24) и прилагођава се различитим величинама плочица (4"-12").

1. Карактеристике основног материјала

Процес топљења синтетичког кварцног песка у луку

Коришћењем кварцног песка ултра високе чистоће (чистоћа SiO₂ ≥99.999%), структура аморфног кварцног стакла формирана је технологијом лучног топљења. Овај процес елиминише дефекте на границама зрна, значајно побољшава уједначеност материјала и осигурава да вафле остану стабилне на високим температурама (≤1250 °C).

Ултра низак коефицијент термичког ширења

Фактор термичког ширења је само 5.5 × 10^-7K^-1(20-300 °C), што омогућава готово никакву промену величине током брзог пораста и пада температуре (нпр. 200 °C/мин у полупроводничким процесима), избегавајући микропукотине или деформације услед термичког напрезања.

Оптимизација отпорности на термички удар

Процесом градијентног жарења, температурна разлика толеранције на термички шок може достићи 1200 ℃ → собна температура током више од 100 циклуса без пуцања, испуњавајући строге захтеве јонске имплантације, брзог жарења и других процеса.

2. Прецизна обрада и површинска обрада

Технологија полирања наноскалама

Храпавост површине се контролише на Ra≤0.2μm, а хемијско-механичко полирање (CMP) у комбинацији са плазма нагризањем се користи за ефикасно смањење адсорпције честица, а чистоћа је у складу са SEMI F47 стандардом (број честица ≤10 /[емаил заштићен]μm).

Премаз против обраштања (опционо)

Површински премаз од силицијум карбида или силицијум нитрида може се прилагодити како би се смањио коефицијент трења контактне површине плочице (μ≤0.05), смањујући ризик од огреботина и миграције металних јона.

Брзо Детаљи:

1. Друга имена: Кварцни чамац, носач за вафле.

2. Примена: Ношење и пренос у високотемпературном процесу полупроводничке плочице, погодно за дифузију, оксидацију и друге процесе.

3. Основни параметри: чистоћа ≥99.99%, максимална отпорност на температуру 1200℃, коефицијент термичког ширења 5.5×10^-7/℃.

1. Обрада полупроводничких плочица (дифузиона пећ, оксидациона пећ).

2. Обрада силицијумских плочица у фотонапонској индустрији.

3. Експериментални лежај плочице лабораторијског квалитета за високе температуре.

Водећа у индустрији чистоће, садржај металних нечистоћа <1ppm.

Дуг век трајања (≥500 циклуса високих температура).

Подржава нестандардно прилагођавање, кратак циклус испоруке.