EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Дифузиона кварцна цев високе чистоће
Семикслаб је водећи произвођач кварцних компоненти у Кини, специјализован за пројектовање и производњу кварцних дифузионих цеви високе чистоће за процесе оксидације, дифузије и жарења полупроводника. Израђене од ултрачистог фузионог силицијум диоксида (≥99.99% SiO₂) и рафинисане прецизним обликовањем и строгом контролом контаминације, свака цев обезбеђује изузетну термичку стабилност и ултра низак ниво металних нечистоћа. Радујемо се вашим даљим консултацијама.
Opis
Семикслабова кварцна дифузиона цев високе чистоће је посебно пројектована за термичке процесе високе температуре у производњи полупроводника, укључујући оксидацију, дифузију допанта и жарење.
Произведена од фузионог силицијума ултра високе чистоће (≥99.99% SiO₂), свака цев је дизајнирана да пружи изузетну хемијску стабилност, минималну контаминацију и прецизну термичку униформност — осигуравајући конзистентне резултате обраде плочица у захтевним чистим просторијама.
Без обзира да ли су интегрисане у вертикалне или хоризонталне дифузионе пећи, Semixlab-ове кварцне цеви су прецизно обликоване и темељно тестиране како би испуниле строге захтеве израде IC, LED, MEMS и енергетских уређаја.
Примене
Примене у полупроводничким процесима
1. Термичка оксидација
У пећима за термичку оксидацију, кварцне дифузионе цеви делују као примарна реакциона комора где су силицијумске плочице изложене парама O₂ или H₂O на повишеним температурама (900–1150°C).
● Обезбеђује чисто и стабилно кисеонично окружење за равномерни раст SiO₂.
● Елиминише контаминацију металним јонима, обезбеђујући висок диелектрични интегритет за капију и изолационе оксиде.
Дифузиона кварцна цев високе чистоће је идеална за обраду вафла
2. Дифузија допанта
Кварцне дифузионе цеви се користе за дифузију атома допанта (као што су фосфор или бор) у силицијумску подлогу како би се створили жељени профили споја.
● Одлична хемијска инертност спречава контаминацију током реакција са POCl₃ или BBr₃.
● Одржава високу чистоћу чак и у атмосферама на бази халогена.
3. Процеси жарења и уградње у аутомобиле
Након јонске имплантације или таложења, плочице се подвргавају жарењу на високој температури како би се активирале примесе и поправила оштећења решетке.
● Кварцне цеви обезбеђују термички униформну комору са ниским садржајем контаминације за стабилне и поновљиве резултате.
● Погодно за окружења за жарење у N₂ и формовном гасу.
4. LPCVD и истраживање и развој термичке обраде
У малим LPCVD или истраживачким пећима, кварцне дифузионе цеви могу служити и као реакциона и као комора за задржавање.
● Идеално за наношење полисилицијума, силицијум нитрида и оксидних филмова.
● Обезбеђује ниско формирање честица и високу поновљивост у различитим циклусима.
Конкурентска предност
Предности Semixlab-а
1. Чистоћа и следљивост материјала
Свака кварцна цев је направљена од ултрачистог фузионог силицијум диоксида набављеног од сертификованих добављача. Извештаји ICP-MS анализе су доступни на захтев, што гарантује следљивост сваке серије.
2. Прецизна производња и прилагођавање
Семикслаб нуди прилагођене дизајне како би задовољио специфичне димензије пећи, термичке профиле и обрасце протока гаса које захтевају купци.
Опције укључују:
● Вертикалне или хоризонталне конфигурације цеви
● Прилагођени пречници, дебљине зидова и завршне прирубнице
● Полиране или гравиране површинске завршне обраде
● Специјални дизајни за руковање носачима са више плочица
3. Ригорозно тестирање и осигурање квалитета
Свака дифузиона цев се пре испоруке подвргава димензионалној инспекцији, испитивању интегритета површине и симулацији термичког напрезања. Ово осигурава компатибилност са водећим системима дифузионих пећи у индустрији као што су TEL, Kokusai, Centrotherm и ASM.
