EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT пиезоелектричне плочице
Са експлозивним растом 5G комуникација, прецизне медицине и паметних носивих уређаја, тржишна потражња за MEMS претварачима високе осетљивости и мале снаге је у порасту. Наше пиезоелектричне плочице (PZT на Si/SOI) користе напредне процесе наношења танког филма како би постигле изузетну уједначеност и супериорна пиезоелектрична својства на силицијумским подлогама, служећи као основно језгро за ефикасну електромеханичку конверзију енергије.
Opis
Прилагођене услуге
Поред тога што нудимо стандардизоване PZT плочице од 8 инча, пружамо и широке могућности прилагођавања прилагођене специфичним захтевима наших клијената:
● Разноликост подлоге: Подржавамо наношење и на Si плочице и на SOI плочице (са отпорношћу > 5000 ом/цм).
● Прилагођавање танких филмова: Специфичне врсте и дебљине танких филмова могу се прилагодити како би се испуниле спецификације дизајна.
● Флексибилно димензионисање: Нудимо могућности обраде за формате плочица од 6 и 8 инча.
● Плочице које испоручује купац: Прихватамо подлоге које испоручује купац за раст пиезоелектричних танких филмова.
Ваш технички партнер: Посвећени смо пружању свеобухватне подршке - од раста материјала до структурног прилагођавања. Без обзира да ли сте у фази истраживања и развоја у лабораторији или у фази масовне производње, наш технички тим је спреман да пружи пиезоелектрична решења која најбоље одговарају вашим потребама.
specifikacije
Наши стандардни производи се производе коришћењем процеса од 6 инча и 8 инча, са софистицираним вишеслојним структурним дизајном који обезбеђује стабилне перформансе током сложених MEMS процеса израде.
Параметри структуре слоја (стандардни 8 инча)
| слој | Дебљина | Beleške |
| Топ Елецтроде | прилагођене | Горња електрода |
| Пиезо слој | прилагођене | Језгро пиезоелектричног слоја |
| Буффер Лаиер | прилагођене | Слој за контролу оријентације зрна |
| Доња електрода | 100 нм ± 10% | Доња електрода |
| Адхезијски слој | прилагођене | Адхезијски слој |
| Подлога | прилагођене | Доступне опције од 4/6/8 инча |
Кључни индикатори учинка (Карактеристике)
● Пиезоелектрична константа (d31): 200 pC/N — Обезбеђује високо ефикасан механички излаз померања.
● Пиезоелектрични коефицијент (e31): −15 C/m² — Обезбеђује веома осетљив одзив електричног набоја.
● Висока униформност: Потврђено XRD дифракционом анализом, PZT филм показује јаку (100) оријентацију, што обезбеђује изузетну униформност перформанси по целој плочици.
| Карактеристике ПЗТ-а | Поликристални PZT |
| Пиезоелектрична константа d31 | 200 pC/N |
| пиезоелектрични коефицијент е31 | -14 цм² |
| Цурие температура | X ℃ |
СЕМ слика и XRD
Примене
Пет кључних области примене
1. Пиезоелектрични ултразвучни претварачи (pMUT)
Коришћење високе пиезоелектричне константе танких PZT филмова за стварање високофреквентних, минијатуризованих ултразвучних низова. Широко се примењује у системима за препознавање отисака прстију испод екрана, детекцији гестова и аутомобилским ултразвучним радарским системима.
2. РФ филтери и комуникације (РФ МЕМС)
У 5G и 6G комуникационим системима, високоперформансни пиезоелектрични материјали су кључни за производњу FBAR и SAW филтера, омогућавајући шири пропусни опсег и мање губитке уметања.
3. Акустични MEMS (звучници/микрофони)
Омогућавање MEMS звучницима врхунским прелазним одзивом и нивоима звучног притиска (SPL), уз истовремено побољшање односа сигнал-шум (SNR) MEMS микрофона како би се омогућило снимање звука високе дефиниције.
4. Прецизна контрола флуида (главе за штампање са инкџет штампачем)
Коришћење вибрација велике брзине у d31 режиму за постизање прецизности на нивоу нанолитара у контроли запремине капљица мастила; служи као основна компонента за покретање индустријских система за инкјет штампање високе резолуције.
5. Медицинска естетика и микропумпање
Покретање медицинских небулизатора и естетских ултразвучних пумпи. Користећи компактну величину и високу поузданост танких PZT филмова, омогућавамо ефикасну атомизацију и прецизну испоруку течних лекова.
