Графитни грејни елементи

Графитни грејни елементи су прецизно обрађени од изостатичког графита високе чистоће (чистоћа ≥99.95%) и дизајнирани су за екстремно високе температуре (до 3000°C) и захтевне услове процеса. Због своје одличне отпорности на топлоту, ниског коефицијента термичког ширења и стабилне отпорности, ови елементи се широко користе у процесима производње полупроводничких језгара као што су пећи за раст монокристала, CVD опрема, епитаксијално таложење и жарење на високим температурама. Такође служе за врхунске примене као што су вакуумске пећи за научна истраживања и термална поља за ваздухопловне материјале.

Примена:

Графитни грејни елементи су дизајнирани за високе температуре, тешка окружења и широко се користе у вакуумским пећима, системима за раст монокристала и производњи полупроводника. Првенствено се користе у процесима CVD таложења, епитаксијалног раста и жарења на високим температурама у полупроводничким процесима. Такође се изузетно добро показују у системима термалног поља за раст монокристала силицијума и припрему сафирних кристала у фотонапонској индустрији.

Услуге које се могу пружити:

анализа сценарија примене код купаца, упаривање материјала, решавање техничких проблема.

Профил компаније:

Семикслаб има 2 лабораторије, тим стручњака са 20 година искуства у материјалима, са могућностима истраживања и развоја и производње, тестирања и верификације.

Технички параметри

Главна поља примене

Одобрење верификације еколошког ланца

Еколошка верификација ланца грејних елемената Semixlab графита обухвата све од сировина до производње, прошла је међународну сертификацију по стандардима и поседује низ патентираних технологија како би се осигурала поузданост и одрживост у областима полупроводника и нове енергије.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку како бисте истражили како Semixlab може побољшати ефикасност вашег процеса.

Основне предности грејних елемената Semixlab Graphite

Одлична отпорност на високе температуре

Графитни грејни елементи користе изостатички графит високе чистоће, што обезбеђује дуготрајан стабилан рад у екстремно високим температурама. Графит је отпоран на омекшавање и деформацију на високим температурама и елиминише ризик од испаравања и контаминације, значајно продужавајући његов век трајања. Ови елементи су посебно погодни за процесе на високим температурама који захтевају заштиту вакуумом или инертним гасом, као што су раст кристала силицијум карбида и синтеровање на високим температурама.

Равномерна и стабилна расподела топлотног поља

Наши графитни грејни елементи постижу једнообразност температуре унутар пећи од ≤±5°C, обезбеђујући равномерно загревање материјала. Ова карактеристика је кључна за процесе као што су раст монокристала силицијума и епитаксијално таложење полупроводника, ефикасно смањујући дефекте решетке и побољшавајући принос.

Висока чистоћа и ниска контаминација

Садржај пепела у сировинама је строго контролисан и готово да се не таложе нечистоће у окружењима високе температуре, чиме се избегава контаминација плочица или компоненти термичког поља. Посебно је погодан за производњу полупроводника (као што су CVD процеси плочица) и термичку обраду материјала високе чистоће, обезбеђујући чистоћу процесне коморе.

Брз одзив и уштеда енергије

Висока топлотна проводљивост графита, у комбинацији са оптимизованим структурним дизајном, повећава брзину загревања грејног елемента и скраћује процесне циклусе. Штавише, његов електрични отпор прецизно се подудара са напајањем, што резултира уштедом енергије од 15% до 30% у поређењу са традиционалним металним грејачима, смањујући дугорочне трошкове рада.