СиЦ Церамицс

SiC керамика се све више користи у полупроводничкој опреми, углавном зато што боље издржава теже услове. Када температура постане висока или процес постане агресивнији, материјали попут кварца или силицијума могу почети да показују ограничења, и ту обично долази до изражаја SiC. У процесима у пећима као што су оксидација или дифузија, делови попут чамаца за вафле или лопатица направљени од SiC имају тенденцију да дуже трају. Они задржавају облик и не изазивају велику контаминацију, чак ни након дугог рада. Људи често прелазе са кварца из тог разлога, посебно када одржавање постане пречесто.

За нагризање, SiC се често бира једноставно зато што дуже преживљава плазму. Разлика у веку трајања у поређењу са силицијумским деловима је приметна у многим поставкама, иако и даље зависи од тачног процеса. Такође помаже мало код контроле честица, која постаје осетљивија како се чворови смањују. Такође ћете видети SiC који се користи као сусцептор у MOCVD или CVD. У тим случајевима, мање се ради о „чврстоћи“, а више о одржавању стабилног понашања температуре. Осим тога, појављује се у деловима коморе попут облога или тушева, а понекад и у компонентама за руковање.