Брод од SiC високе чистоће

Чамац од високочистог силицијум карбида (SiC) је високоперформансни керамички носач дизајниран за полупроводничке процесе на високим температурама, раст кристала и прецизну термичку обраду. Синтерован је са ултра-високо чистим SiC материјалом и има одличну отпорност на високе температуре, отпорност на термичке ударе и хемијску стабилност. Широко се користи у дифузији полупроводника, CVD-у, LED епитаксији и расту фотонапонских монокристала.

Примена:

Високочисти SiC чамац је кључни потрошни материјал за полупроводничке процесе, који се углавном користи за ношење и пренос плочица у окружењима са високом температуром и широко се користи у процесима дифузије, оксидације, жарења и CVD силицијумских плочица. Посебно је погодан за процесе на високим температурама за полупроводнике треће генерације (као што је SiC/GaN) и енергетске уређаје.

Услуге које се могу пружити:

анализа сценарија примене код купаца, упаривање материјала, решавање техничких проблема.

Профил компаније:

Семикслаб има 2 лабораторије, тим стручњака са 20 година искуства у материјалима, са могућностима истраживања и развоја и производње, тестирања и верификације.

Технички параметри

Главна поља примене

Одобрење верификације еколошког ланца

Верификација еколошког ланца компаније Semixlab High-Purity SiC Boat покрива процес од сировина до производње, прошла је међународну сертификацију и поседује низ патентираних технологија како би се осигурала њена поузданост и одрживост у областима полупроводника и нове енергије.

Типичан процес пријаве

Припрема сировина (SiC прах високе чистоће) → Процес обликовања (суво пресовање/изостатско пресовање) → Процес синтеровања → Машинска обрада и завршна обрада површине (CNC брушење/полирање, хемијско нагризање, жарење) → Пречишћавање и CVD премаз → Контрола квалитета → Паковање

Захваљујући најсавременијој оптимизацији параметара процеса, јединствени структурни дизајн Semixlab High-Purity SiC чамца обезбеђује одличну стабилност плочице, а истовремено значајно смањује ризик од контаминације честицама. Његов век трајања може достићи 5-8 пута дужи од традиционалних кварцних чамаца, што га чини идеалним решењем за обраду плочица на високим температурама. Ова иновација му омогућава да постепено замени увоз на тржишту полупроводника, пружајући високо ефикасно и исплативо домаће решење.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку како бисте истражили како Semixlab може побољшати ефикасност вашег процеса.

Предности Semixlab SiC језгра за чамце високе чистоће

1. Изузетна чистоћа (кључна предност)

Семикслаб високочисти SiC чамац има ултра високу чистоћу (≥99.9999%), а садржај нечистоћа (Fe, Al, Na, итд.) је контролисан на нивоу од 1 ppm како би се избегла контаминација плочица или епитаксијалних материјала, што је посебно погодно за производњу SiC/GaN полупроводника.

2. Хемијска инертност (отпорност на корозију)

Отпоран на киселине, алкалије/плазма ерозију и може бити отпоран на корозивне гасове као што су HF, HCl, H2 (као што су процеси нагризања полупроводника). Не ослобађа гас на високим температурама.

3. Механичка чврстоћа и век трајања

Ултра висока тврдоћа, одлична отпорност на хабање, смањује ризик од осипања честица и продужава век трајања (обично 3 до 5 пута више него код кварцног чамца). Не деформише се лако на високим температурама, одржавајући равност плочице (као што је савијање у дифузионој пећи <0.1 мм).

4. Компатибилност процеса

Прилагодљиво различитим тешким окружењима, оксидационо/редукционим атмосферама (као што су O2, H2, Ar) и CVD/PVD процесима премазивања. Површина се може прилагодити, као што је полирање (Ra < 0.1 μm) или премазивање (као што је SiO2) ради додатног смањења контаминације.