Полупроводнички кварцни чамац од плочица

Семикслаб полупроводничке кварцне плочице су кључни алати за ношење плочица дизајнирани за процесе на високим температурама као што су дифузија, оксидација, CVD, жарење итд., у производњи полупроводника. Направљене од синтетичког кварца високе чистоће са одличном отпорношћу на високе температуре, хемијском стабилношћу и ниским коефицијентом термичког ширења, могу стабилно носити плочице у тешким процесним окружењима како би се осигурала конзистентност процеса и принос производа.

Применљива опрема: Компатибилна са свим врстама хоризонталне/вертикалне дифузионе пећи (хоризонтална/вертикална дифузиона пећ), LPCVD системом и опремом за брзу термичку обраду (RTP).

Гаранција квалитета

Строга контрола квалитета: 100% детекција цурења хелијумском масеном спектрометријом (брзина цурења <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Извештај о чистоћи материјала (ICP-MS тест) се издаје за сваку серију.

Стандарди сертификације: У складу са SEMI F47 спецификацијама, путем сертификације система управљања квалитетом ISO 9001:2015.

Век трајања: просечан век трајања под нормалним условима је више од 2 године (у зависности од учесталости процеса и температурних услова).

Зашто изабрати наш кварцни чамац?

Прилагођене услуге: Прилагођена величина и конструкција према моделу опреме (TEL, Kokusai, ASM, итд.) и захтевима процеса.

Брз одговор: Стандардно време испоруке је 3 недеље, хитне поруџбине могу се скратити на 10 радних дана.

Глобална сервисна мрежа: Пружа техничке савете, смернице за инсталацију и подршку за постпродајно одржавање. Спецификације материјала.

Спецификација пројекта

Синтеза материјала: фузиони кварц

Чистоћа ≥99.99% SiO₂

Компатибилност величине вафле 8", 12" (може се прилагодити 6" или 18")

Радна температура ≤1200°C (континуирано) / 1300°C (вршна)

Коефицијент термичког ширења (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Храпавост површине (Ra) ≤0.2μm

Стандардни капацитет 25/50/100 таблета

Применљиви процесни гасови O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, итд.

Оксидација/дифузија на високим температурама: допирање силицијумом (дифузија фосфора, бора), раст оксида капије.

Таложење танких филмова: LPCVD поликристални силицијум, таложење силицијум нитрида (Si₃N₄).

Процес жарења: жарење након јонске имплантације (RTA), легирање метала.

Полупроводник треће генерације: силицијум карбид (SiC), галијум нитрид (GaN) процес епитаксе.

1. Карактеристике материјала

Кварц ултра високе чистоће (>99.99% SiO₂): спречава загађење металним јонима (Na+, K+, Fe³+, итд.) и испуњава захтеве чистоће за напредне процесе (чворови <5nm).

Отпорност на високе температуре: континуирана радна температура од 1200°C, тренутна отпорност на температуру од 1300°C, без ризика од деформације или кристализације.

Хемијска инертност: Отпоран на процесне гасове као што су HCl, H₂, O₂, SiH₄ и киселе/алкалне средине. Некорозиван при дуготрајној употреби.

2. Прецизан дизајн

Оптимизујте структуру:

Тачност размака између слотова је ±0.05 мм, што обезбеђује прецизно позиционирање плочице (8/12 инча) и спречава огреботине или померање.

Дизајн отпоран на термички удар, прилагођава се брзом порасту и паду (брзина загревања ≤20°C/мин).

Мало формирање честица: Површина је ултра прецизно полирана (Ra ≤0.2μm) како би се смањило приањање и отпадање честица.

3. Диверзификована конфигурација

Капацитет (опционо): Подржава 25 комада, 50 комада, 100 комада и друге стандардне спецификације, такође се може прилагодити нестандардном броју слота.

Адаптација типа: Отворени чамац, затворени чамац или посебан тип чамца (као што је дизајн канала за преусмеравање на дну чамца).

П1: Можете ли да обезбедите нестандардну величину или посебан дизајн?

A1: Semixlab подржава прилагођене услуге, укључујући подешавање величине, горњу границу температуре (потребна је надоградња материјала) или тип интерфејса. За специфичне захтеве контактирајте технички тим Semixlab-а.

П2: Колико је време испоруке?

A2: Време испоруке за стандардне производе је 4-6 недеља, а време дизајнирања и верификације за прилагођене производе је 2-3 недеље.

П3: Да ли пружате постпродајну техничку подршку?

A3: Да, пружамо доживотне техничке консултације и услуге реаговања у хитним случајевима. У случају проблема са инсталацијом или коришћењем, тим за подршку можете контактирати у било ком тренутку путем е-поште или телефона.

П4: Да ли производ испуњава стандарде полупроводничке индустрије?

A4: Да, производни процес је у складу са SEMI стандардима и сертификован је системом управљања квалитетом ISO 9001. Свака серија се тестира на непропусност за ваздух, отпорност на температуру и чистоћу пре него што напусти фабрику.