EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Полупроводничка кварцна купка
Брзо Детаљи:
1. Остала имена: Полупроводнички кварцни резервоар, кварцна купка за полупроводник, кварцни резервоар за полупроводник.
2. Примена: Полупроводничко кварцно купатило је компонента високе чистоће, отпорна на корозију, посебно пројектована за прецизно чишћење и хемијску обраду у производњи полупроводника. Дизајнирано за компатибилност са системом WS-620C/WS-820C/WS-820L, ово кварцно купатило ради под условима високе температуре (до 175°C) и оптимизовано је за употребу са растворима фосфорне киселине (H₃PO₄), обезбеђујући изузетне перформансе у критичним процесима чишћења плочица.
3. Основни параметри:
Растопљени кварц (>99.99% SiO₂).
Изузетна хемијска инертност према H₃PO₄ (фосфорној киселини) на повишеним температурама, спречавајући разградњу или стварање честица.
Отпоран је на континуирани рад на 160°C и вршне температуре од 175°C, одржавајући структурни интегритет и димензионалну стабилност.
Opis
Полупроводничко кварцно купатило је компонента високе чистоће, отпорна на корозију, посебно пројектована за прецизно чишћење и хемијску обраду у производњи полупроводника. Дизајнирано за компатибилност са системом WS-620C/WS-820C/WS-820L, ово кварцно купатило ради под условима високе температуре (до 175°C) и оптимизовано је за употребу са растворима фосфорне киселине (H₃PO₄), обезбеђујући изузетне перформансе у критичним процесима чишћења плочица.
Кључне карактеристике
Материјална супериорност
Кварц високе чистоће: Произведен од синтетичког фузионог кварца (>99.99% SiO₂), што обезбеђује минималну контаминацију и отпорност на термички шок.
Отпорност на киселине
Изузетна хемијска инертност према H₃PO₄ (фосфорној киселини) на повишеним температурама, спречавајући разградњу или стварање честица.
Термичка стабилност
Отпоран је на континуирани рад на 160°C и вршне температуре од 180°C, одржавајући структурни интегритет и димензионалну стабилност.
Предности перформанси
Контрола контаминације: Ултра глатка површинска обрада минимизира пријањање честица, што је кључно за процесе производње полупроводничких чворова субмикронске величине.
Дуговечност: Отпорност кварца на киселинску корозију и термички замор продужава век трајања, смањујући застоје и трошкове одржавања.
Конзистентност процеса: Стабилна топлотна проводљивост обезбеђује равномерну расподелу температуре, побољшавајући ефикасност чишћења и поновљивост.
Зашто изабрати Semixlab-ову полупроводничку кварцну купку?
Полупроводнички квалитет: Произведено у чистој просторији како би се испунили SEMI стандарди.
Прилагођена решења: Доступни су прилагођени дизајни који одговарају специфичним захтевима процеса.
Поузданост: Ригорозно испитивање квалитета осигурава усклађеност са захтевима полупроводничке индустрије.
specifikacije
| Механичка својства | Густина (г/цм3) | 2.2 |
| Мохсова тврдоћа | 6-7 | |
| Притисна чврстоћа (MPa) | 1100 | |
| Затезна чврстоћа (N/mm2) | 50 | |
| Чврстоћа на савијање (N/mm2) | 65 | |
| Торзиона чврстоћа (N/mm2) | 30 | |
| Јангов модул еластичности (MPa) | 7.2x104 | |
| Поиссонов однос | 0.16 | |
| Термичка својства | Коефицијент термичког ширења (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Топлотна проводљивост (20℃, W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Специфична топлота (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Тачка омекшавања (℃) | 1700 | |
| Тачка жарења (℃) | 1180 | |
| Тачка напрезања (℃) | 1080 | |
| Електрична својства | Електрична отпорност (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Диелектрична константа (10 GHz) | 3.74 | |
| Диелектрични губици (10 GHz) | 0.0002 | |
| Диелектрична чврстоћа (V·m-1) | 3.7x107 |
Примене
Чишћење плочице: Уклањање фоторезиста, остатака и загађивача у растворима на бази H₃PO₄ након нагризања или литографије.
Процеси на високим температурама: Погодни за напредне кораке израде полупроводника који захтевају агресивне хемијске реакције на повишеним температурама.
Компатибилност: Идеално за системе WS-620C/WS-820C/WS-820L у фабрикама које производе логичке, меморијске или енергетске уређаје.
