EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Чвориште и носач за кварцне плочице полупроводничког квалитета
Семикслабов чамац од кварцне плочице високе чистоће – такође познат као носач или касета кварцне плочице – је компонента термалног поља која се интензивно користи у обради полупроводника на високим температурама. Направљена је од фузионог силицијума ултра високе чистоће (SiO₂ ≥ 99.999%) и служи као структурни носач за силицијумске, SiC и GaN плочице у корацима термичке дифузије, оксидације, жарења, LPCVD и PECVD.
Opis
Преглед производа
Произведени под строгом контролом квалитета, Semixlab кварцни чамци одржавају укупне нивое металних нечистоћа испод 15 ppm (валидовано помоћу GDMS или ICP‑OES) и нуде опцију са ниским садржајем хидроксилних група на < 5 ppm. Ови производи показују јаку отпорност на улегање, деформацију и контаминацију метала током захтевних операција у пећи на високим температурама.
Доступно прилагођавање
Semixlab подржава израду прилагођених чамаца од кварцних плочица – укључујући чамце са мердевинама, чамце са хоризонталним плочама, чамце са шкољкама и носаче серија – изграђене према цртежима купаца, CAD датотекама и спецификацијама опреме.
specifikacije
Кључне спецификације и техничке перформансе
| Имовина | Вредност Semixlab-а | Корист |
| Хемијска чистоћа | СиО₂ ≥ 99.999%; Фе, Цу, Ли, На, К < 15 ппм | Минимизира металну контаминацију |
| Садржај хидроксила | Низак садржај OH < 5 ppm; Стандардни < 30 ppm | Побољшава стабилност на високим температурама |
| Радна температура | 1200°C континуирано / 1300°C вршно | Одржава крутост током циклуса пећи |
| Термално ширење | 0.45 × 10⁻⁶ /°Ц | Одлична отпорност на топлотни удар |
| Тачност нагиба слота | ± КСНУМКС мм | Поуздано роботско руковање плочицама |
| Завршно | Пламено жарено / Микрополирано (Rz < 0.8 μm) | Смањује честице и микропукотине |
Примене
Процес апликације
· Пећи за термичку оксидацију и жарење
· Процеси дифузије допанта бора/фосфора
· LPCVD и PECVD таложење танких филмова
· Производња полупроводника треће генерације (SiC и GaN)
Конкурентска предност
Основна вредност понуде и техничке предности
1. Субмикронска обрада и прецизно жлебљење
Напредна CNC ласерска обрада и дијамантско жлебљење нам дају строгу контролу над геометријом жлебова, што подржава аутоматизовано учитавање плочица и помаже у спречавању оштећења плочица.
2. Кварц са ултраниским садржајем хидроксила и високим вискозитетом
Наш специјални фузиони кварц са ниским садржајем OH пружа добру структурну стабилност и минимизира промену облика током дугих термичких циклуса изнад 1100°C.
3. Заштита површине полираном ватром
Пламено жарење и хемијско полирање повећавају површинску густину, побољшавају издржљивост чишћења и смањују стварање честица.
4. Компатибилност са OEM опремом
Нудимо прилагођене резервне кварцне чамце за TEL, ASM, Kokusai, SVCS, LPE и друге системе термичке обраде.
Naše usluge
