ЦВД премаз од силицијум карбида (СиЦ).

CVD SiC премаз је у основи слој силицијум карбида нанет на графит и широко се користи у алатима за епитаксију где су и температура и чистоћа важни. У стварним производним линијама, често ћете га видети у системима компанија AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, као и на неким платформама повезаним са AMAT-ом. Оно што га чини корисним није само отпорност на температуру, већ и укупна стабилност током дугих циклуса. Под типичним условима епитаксе – водоник, амонијак или чак хлорисани гасови – премаз остаје релативно стабилан и штити графит испод. То помаже да термално поље буде конзистентније и смањује могућност појаве честица током раста.

Најчешће се премаз наноси на делове попут сусцептора, носача плочица, графитних прстенова или компоненти у облику полумесеца. Сви они су директно укључени у загревање или позиционирање плочица, тако да свака мала нестабилност може утицати на принос. Из тог разлога, премазани делови се често третирају као потрошни материјал који и даље мора бити поуздан током више циклуса, посебно у производњи од 4 до 12 инча.