SiC плоча за ICP нагризање

Захтеви за карактеристике: Оптимизовано за захтевна плазма окружења

Да би се испунили строги захтеви окружења за ICP нагризање, SiC плоча мора поседовати следеће основне карактеристике:

● Одлична топлотна проводљивост

SiC има изузетно високу топлотну проводљивост, далеко већу од традиционалних материјала као што су кварц или алуминијум оксид. То значи да може ефикасно да одводи топлоту генерисану током процеса нагризања даље од плочице, ефикасно спречавајући локално прегревање.

Предности: Обезбедите равномерну температуру по целој површини плочице, што резултира веома конзистентном контролом дубине нагризања и критичне димензије (CD), значајно побољшавајући принос и смањујући отпад од плочице.

● Супериорна отпорност на плазма ударце

У плазма окружењу ICP нагризања, материјал ће се суочити са бомбардовањем јонима високе енергије и хемијском корозијом активних слободних радикала. SiC има одличну отпорност на плазму, посебно у гасовима за нагризање који садрже флуор или хлор.

Предности: Знатно продужава век трајања носача плочице, смањује учесталост замене и време застоја, чиме се смањују оперативни трошкови и побољшава искоришћење опреме. Истовремено, стабилна својства материјала такође смањују ризик од контаминације честицама.

● Изузетна уједначеност температуре

У комбинацији са високом топлотном проводљивошћу и ниским коефицијентом термичког ширења, SiC носачи су у стању да одрже одличну температурну униформност по целој површини плочице. Ово је кључно за прецизно нагризање, посебно за осетљиве материјале као што је GaN.

Предности: Обезбедите доследно гравирање за сваки уређај, минимизирајте варијације у перформансама уређаја и пружите врхунски квалитет и поузданост за ваше ЛЕД производе.

Ове карактеристике су неопходне за постизање поновљивог и прецизног нагризања у изради ЛЕД плочица.

Зашто изабрати Semixlab: Прилагођена решења. Поуздан квалитет

Избор Semixlab-а значи да бирате перформансе, поузданост и прилагођене услуге:

1. Доступне су разне спецификације и пружају се прилагођене услуге:

Добро смо свесни да различита опрема и процеси ICP нагризања имају јединствене захтеве за величину носача плочица, положај отвора и метод стезања. Semixlab пружа разне стандардне спецификације носача SiC плочица како би задовољио потребе главног тржишта.

Још важније, пружамо професионалне услуге прилагођавања. Без обзира да ли су вам потребне посебне величине, сложени структурни дизајни или оптимизација за одређене процесе, наш инжењерски тим може тесно сарађивати са вама како би вам пружио решења по мери. То значи да можете добити носач који савршено одговара вашој опреми и процесу, максимизирајући ефикасност производње и принос.

2. Стабилан квалитет и брза испорука

Наш ригорозан систем контроле квалитета обезбеђује доследност у свим серијама, док наша ефикасна производња и логистика гарантују брзе рокове испоруке, помажући вам да испуните кратке производне рокове.

Верујте Semixlab-у – вашем партнеру за SiC материјале у напредном плазма нагризању

Са дугогодишњим искуством у индустрији полупроводничких премаза, Semixlab комбинује дубинско знање о материјалима, најсавременију обраду и услугу усмерену на купце како би испоручио компоненте које побољшавају стабилност процеса и квалитет производа.

Примена: Пројектовано за ICP гравирање у ЛЕД индустрији

У напредном процесу производње ЛЕД диода, ICP (индуктивно спрегнута плазма) нагризање је кључни корак за постизање прецизног микро-шаблона на полупроводничким плочицама. Semixlab-ова SiC плоча функционише као веома поуздан носач или држач плочице током ICP процеса нагризања. Њена робусна својства материјала осигуравају стабилност процеса чак и под екстремним условима плазме, што је чини неопходном компонентом за производне линије ЛЕД диода високог приноса и високе униформности.