EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Грејач графита обложен СиЦ за МОЦВД
Семикслабов MOCVD грејач са SiC премазом од графита је високо ефикасни грејани носач дизајниран за процесе производње полупроводника који користи хемијско таложење паром (CVD) за формирање једноличног, густог премаза силицијум карбида (SiC) на површини графитне подлоге ултра високе чистоће.
Opis
производи Детаљи
MOCVD грејач са SiC графитним премазом комбинује одличну топлотну проводљивост графита са отпорношћу SiC премаза на високе температуре и корозију и широко се користи у опреми за метално-органско хемијско таложење из паре (MOCVD) како би се осигурала стабилност и висока чистоћа у процесима раста епитаксијом плочица.
Карактеристике производа MOCVD грејача са SiC премазом од графита
1. Ултра висока чистоћа и хемијска стабилност
Чистоћа ≥99.99995%: Наш графитни грејач се припрема под хлорисањем на високој температури путем CVD процеса, што ефикасно спречава контаминацију металним нечистоћама и задовољава захтеве за ултра чистим окружењима у производњи полупроводника.
Антихемијска корозија: Густи и високо тврди SiC премаз (Викерсова тврдоћа од 2500-2800) може да одоли ерозији киселина, алкалија, соли и органских растварача, што продужава век трајања опреме у корозивном гасном окружењу.
2. Одлична отпорност на високе температуре
Стабилност на високим температурама: може да издржи до 3000°C у инертној атмосфери, стабилан рад до 2200°C у вакуумском окружењу и 1600-1700°C у оксидационом окружењу, што је погодно за екстремне услове MOCVD реакционе коморе.
Низак коефицијент термичког ширења (4.5 x 10⁶K-¹): Ова карактеристика MOCVD графитног грејача ефикасно смањује пуцање или љуштење премаза услед промена температуре, осигуравајући структурни интегритет при дуготрајном термичком циклусу.
3. Оптимизоване перформансе управљања температуром
Висока топлотна проводљивост (200-300 W/mK): Висока топлотна проводљивост графитног MOCVD грејача одређује да производ може брзо и равномерно преносити топлоту како би се постигла конзистентна расподела температуре површине плочице (±1°C), чиме се ефикасно побољшава једнообразност епитаксијалног слоја.
Дизајн поља са ламинарним токовима гаса: Након континуиране итерације и надоградње технологије, глаткоћа површине (Ra ≤ 0.8μm) и оптимизација геометрије нашег MOCVD грејача обезбеђују равномерну расподелу реактивних гасова и смањују неравномерност таложења узроковану турбуленцијом.
specifikacije
Поређење техничких параметара и предности
| karakteristike | Semixlab SiC обложени грејачи | Конвенционални графитни грејачи |
| Максимална радна температура (инертно) | КСНУМКС ° Ц | КСНУМКС ° Ц |
| Хемијска чистоћа | ≥ КСНУМКС% | ≤КСНУМКС |
| Топлотна проводљивост | 300 В / мК | 120-150 В/мК |
| Adhezija premaza | 415 MPa (савијање у 4 тачке) | КСНУМКС-КСНУМКС МПа |
| Типичан животни век (циклуси) | > 500 циклуса | 100-200 циклуса |
Конкурентска предност
Зашто Semixlab?
Прилагођавање: Семикслаб је посвећен пружању прилагођених производа и техничких услуга нашим купцима. Подржавамо прилагођавање нестандардних величина (до пречника 360 мм) и дебљина премаза (20-500 μм) како бисмо задовољили широк спектар потреба опреме.
Глобална сертификација: Наш грејач од графита са SiC премазом је SEMI компатибилан, сертификован по ISO 9001 стандарду, а наши производи се углавном извозе у Европу и Сједињене Државе, као и у Јапан и Јужну Кореју, са значајном предношћу у односу цена/перформансе.
Техничка синергија: Semixlab дуго одржава блиску сарадњу са водећим истраживачким институцијама у Кини, користећи патентиране технологије премазивања (као што је SiC³ процес компаније CGT Carbon) како би оптимизовао густину премаза и отпорност на термичке ударе.
