Чамац од SiC плочица високе чистоће

Оптимизована термална пољска решења за израду од 4-12 инча

Зашто водеће фабрике прелазе са кварцних на SiC чамце?

Супериорнији од кварца који неизбежно пропада на 1150∘C због девитирификације, наши SiC чамци одржавају апсолутну геометријску прецизност под екстремним термичким напрезањем. Захваљујући високој густини, CVD SiC матрица спречава осипање честица. Направљена је посебно да се носи са захтевима „нултог одступања“ данашњих процеса израде у субмикронским размерама.

Наше компоненте подносе агресивно чишћење HF/HNO3 много боље од кварцних, трају дуже и смањују трошкове замене. Са оптимизованим термичким управљањем за брзо и равномерно загревање, оне пружају стабилност процеса потребну за плочице од 4 до 12 инча у производњи великих количина.

Екперт Инсигхтс

За разлику од традиционалних графитних чамаца који се у великој мери ослањају на површинске премазе, Semixlab-ова монолитна SiC-на-SiC архитектура елиминише структурну „неусклађеност“ између подлоге и омотача. Уједињавањем коефицијената ширења у целој јединици, решили смо хронични проблем индустрије због деламинације. За фабрике великог обима од 8 и 12 инча, ово није само надоградња материјала - то је револуција у погледу укупан трошак власништва. Са веком трајања 5 пута дужим од стандардног кварца, наши чврсти SiC чамци трансформишу потрошни трошак у дугорочну производну имовину.

Техничке спецификације и прилагођавање

Можемо све прилагодити како би одговарало вашој специфичној поставци пећи - било хоризонталној или вертикалној - и прилагодити се вашим тачним потребама за руковањем плочицама.

Типичне Апликације 

Наши SiC чамци су направљени за најтеже услове производње. Савршено држе свој облик током Si/SiC епитаксе упркос H2 нагризању, а њихова висока чистоћа је спас за дифузионе процесе где је контаминација ризик. За ALD и LPCVD, они делују као стабилна термална маса како би се осигурало равномерно наношење филма на све плочице.

Шема CVD процеса за SiC премаз чамца, обезбеђујући чистоћу од 7N и уједначену густину

1) 7N ултрависока чистоћа (CVD енкапсулација) Уместо основног премаза, користимо CVD SiC енкапсулацију високе густине како бисмо осигурали глобалну чистоћу од 99.99999%. За високонапонске уређаје попут IGBT-а и MOSFET-ова, ово није опционо – то је једини начин да се спречи да металне нечистоће (Fe, Ni, Cu) покрећу катастрофалне струје цурења.

2) Прецизно пројектована геометрија жлеба Не радимо „једна величина за све“. Без обзира да ли вам је потребан стандардни V-жлеб или специјализовани U-жлеб за руковање крхким, танким плочицама, наши CNC центри одржавају толеранције на строгих ±0.05 мм. Ова екстремна прецизност елиминише звецкање плочице на самом извору и ублажава напрезање ивица током брзих роботских преноса.

3) Оптимизован радни циклус и усклађивање CTE Највећа тачка квара код премазаних чамаца је деламинација. Ово смо решили подешавањем чврстоће везивања премаза како би савршено одражавала коефицијент термичког ширења (CTE) подлоге. Резултат? Чамац који преживљава неумољиве термичке циклусе у оксидационим и дифузионим пећима без љуштења или одвајања премаза од основног материјала.