Чврсти SiC прстен са ивицама

Кључне карактеристике перформанси

Семикслабов бункерасти SiC ивични прстен је пројектован да испуни ригорозне захтеве производње полупроводника следеће генерације. Следеће карактеристике перформанси чине га преферираним избором за коморе за плазма нагризање у напредним фабрикама:

● Одлична отпорност на плазма бомбардовање

Израђен од чврстог силицијум карбида високе чистоће, ивични прстен показује изузетну отпорност на плазму високе густине, обезбеђујући минимално хабање и продужени век трајања компоненти под интензивним јонским бомбардовањем.

● Супериорна отпорност на корозију изазвану гасом

SiC материјал нуди високу хемијску инертност, ефикасно отпорну на корозивне гасове за нагризање као што су Cl₂, CF₄ и SF₆ без деградације површине, чак и у окружењима са високим температурама.

● Изузетна отпорност на термички удар и термички напони

Са топлотном проводљивошћу од 120-150 W/m·K и ниским коефицијентом термичког ширења (~4.5×10⁻⁶/K), чврста SiC структура одржава димензионалну стабилност и механички интегритет током брзих термичких циклуса.

● Глатка површина, рад без честица

Напредне технике завршне обраде површине обезбеђују ниску храпавост површине (Ra ≤ 0.2 µm), минимизирајући стварање честица и поједностављујући процесе чишћења коморе, што смањује време застоја.

● Без савијања или деформације током времена

За разлику од конвенционалних композитних прстенова за ивице, наш монолитни SiC дизајн остаје раван и димензионално стабилан током продужених процесних циклуса, пружајући поуздане перформансе током дугог животног века.

Зашто изабрати Semixlab SiC Edge прстенове?

У Семикслабу испоручујемо врхунски квалитет, поткрепљен стручношћу и иновацијама. Ево зашто се Семикслабови SiC прстенови са ивицама истичу:

● Решења прилагођена мери

Нудимо потпуно прилагођавање на основу ваших процесних спецификација, укључујући унутрашње/спољашње пречнике, дебљину и посебне површинске премазе или текстуре, осигуравајући савршено приањање и оптималне перформансе у вашој комори за нагризање.

● Свеобухватан асортиман типова

Семикслаб подржава различите платформе алата за нагризање, укључујући TEL, Lam, AMAT и прилагођене OEM системе, са стандардним и специфичним прстеновима за ивице доступним за различите потребе процеса.

● Стабилан квалитет, брза испорука

Са производњом сертификованом по ISO стандардима, строгом контролом квалитета и поједностављеним ланцем снабдевања, обезбеђујемо конзистентне перформансе делова, кратке рокове испоруке и благовремену испоруку како би ваша производња текла без кашњења.

Основна физичка својства чврстог SiC-а

Примена у производњи полупроводника

Чврсти SiC прстен за ивицу је суштинска компонента у процесу плазма нагризања силицијумских плочица, где служи као заштитни и структурни спој између плочице и хардвера коморе. Постављена око ивице плочице, ова компонента обезбеђује стабилност процеса, штити електростатичку стезну главу (ESC) и смањује ризик од контаминације спречавањем накупљања честица. Посебно је вредна у окружењима високопрецизног сувог нагризања и RIE (реактивног јонског нагризања) где су поновљивост процеса, заштита коморе и дугорочна поузданост критични.